展出面积：7.5万平米
参展企业：800+
专业观众：60 000+
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2026年10月21-23日，两年一届第十三届中国（上海）国际流体机械展览会（CFME2026）将在上海国家会展中心举办。

北京中科科仪股份有限公司，展位号：4H-F06。欢迎业界同仁莅临展台参观交流。

 

公司简介   

北京中科科仪股份有限公司（简称中科科仪），前身为中国科学院科学仪器厂，始建于1958年。中科科仪业务领域覆盖扫描电子显微镜、氦质谱检漏仪等科学仪器装备和分子泵、真空应用设备等核心零部件及产业设备。曾研制出我国第一台扫描电子显微镜、第一台立式涡轮分子泵和第一台商用氦质谱检漏仪。近年来，成功研制出国内首台场发射枪扫描电子显微镜、首台磁悬浮分子泵，均达到国际先进水平，并入选2021年、2023年《北京市首台（套）重大技术装备目录》。

展出产品   

系列磁悬浮分子泵

  系列磁悬浮分子泵是KYKY为满足半导体刻蚀、离子注入、薄膜沉积、太阳能光伏、锂电复合集流体、真空镀膜、科学研究等领域开发的真空获得设备，抽速为300L/s-3260L/s，应用压力范围为20Pa到10^-8Pa，包含ISO-K、ISO-F、ISO-CF三种气体入口连接形式，并有防腐蚀、耐沉积、抗干扰、分体等型号可供选择。

E-13系列氦质谱检漏仪

【产品优势】：

响应速率快——高可靠性谐波去耦算法

智能控制器——集成漏率曲线显示与储存功能

丰富的通讯接口——支持RS232/485多种通讯接口

全新推车式结构——符合人体工程学，操作便捷省力

最小可检漏率达5×10^-13Pa·m³/s

最大检漏压强2200Pa

系列真空阀门    

    系列真空阀是KYKY为满足真空镀膜、航空航天、科学研究、太阳能光伏、半导体等领域用在真空管道上的密封隔离元件，通径覆盖DN16–DN1250，真空压力范围1.2×10⁵ Pa 至 1×10^-8 Pa，提供手动、气动、电动、电磁等多种驱动方式，包含KF、CF、ISO-F三种标准法兰连接形式，并有高真空、超高真空、极高真空，兼顾耐高温、耐腐蚀等多型号可供选择。

真空应用系统

    中科科仪真空应用系统主要包含：超高真空排气装置、真空过程工艺装备、环境模拟装置、检漏工程与装备等。产品远销香港、瑞士、新加坡、俄罗斯、泰国等国家和地区。

系列场发射枪扫描电子显微镜

    该设备是一种观测物质表面微观结构与成分特征的重要分析仪器，可实现 30万倍以上连续放大，分辨率最高可达0.8纳米，广泛应用于半导体检测、新能源材料表征、纳米科研、镀层分析与精密器件失效分析等高端领域。

 

联系方式

网址：www.kyky.com.cn

电话：010-82548201

邮箱：guotiexin@kyky.com.cn

 

CFME2026 第十三届中国（上海）国际流体机械展览会

展会时间：2026年10月21~23日

展会地点：上海国家会展中心

主办单位：中国通用机械工业协会

联系方式

官方网址：www.cgmia.org.cn

www.cgmiaifme.com

参展报名：13801092459 13681112468

参观报名：13126697923

国际合作：15901434623